SK하이닉스 청주

사용효과

• 클린룸 공급 공기 내 오염물질을 세정하는 WSS 용수의 미생물 증식을 차단
• FAB 설비 기준에 맞춘 16 bar 고압 반응기를 적용하여, 별도 가압·변환 설비 없는 관로 인라인 직결을 완성
• 16,000시간의 압도적 고효율 램프를 통해 OPEX 최소화

HOW

• WSS 공정 특화 16bar 내압 316L 전해연마 반응기
• LPHO 아말감 광원 기반의 4-Log(99.99%) 미생물 불활성화
• WSS 미세 파울링 자동 제거 및 전력 자동 가변 제어